广东职业技术学院图书馆书目检索系统

Online Public Access Catalogue

题名/责任者:

微机电系统工程基础/蒋永刚主编

出版发行项:

北京:北京航空航天大学出版社,2023

ISBN及定价:

978-7-5124-4022-7/CNY39.00

载体形态项:

149页:图;26cm

个人责任者:

蒋永刚 主编

学科主题:

微机电系统-高等学校-教材

中图法分类号:

TH-39

一般附注:

高等学校通用教材

提要文摘附注:

本书力图融汇各个领域的微纳制造技术于一体，使读者通过阅读全书可以获得对微机电系统工程的全面认识。同时，讲解MEMS设计的基础力学和传感原理的知识，并以典型的传感器和驱动器为案例进行设计方面的介绍。

豆瓣简介：