MARC状态：订购 文献类型：中文图书 浏览次数：7
- 题名/责任者:
- 金刚石膜粒子探测器材料/夏义本著
- 出版发行项:
- 北京:科学出版社,2022.01
- ISBN及定价:
- 978-7-03-070427-6/CNY150.00
- 载体形态项:
- 299页:图;24cm
- 丛编项:
- 先进功能材料丛书
- 中图法分类号:
- O572.21
- 提要文摘附注:
- 本书系统介绍了金刚石膜材料的物理性能、制备工艺技术以及材料与光电探测器件的关系和原理。其物理性能包括膜的结构、表面、界面及掺杂对热和光电性能的影响；制备工艺技术包括不同材质的衬底处理，详尽地描述了微波等离子体和热丝辅助化学气相沉积法制备金刚石膜的工艺及各种检测分析技术；从半导体器件物理原理出发阐述了金刚石膜粒子探测器的性能及与材料间内在联系。
- 使用对象附注:
- 粒子探测器金刚石涂层膜材料研究相关人员
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