MARC状态：订购 文献类型：中文图书 浏览次数：6
- 题名/责任者:
- 微纳制造与微机电系统/李经民，刘冲，王立鼎编著
- 出版发行项:
- 北京:科学出版社,2024
- ISBN及定价:
- 978-7-03-079358-4/CNY82.00
- 载体形态项:
- 281页:图;26cm
- 个人责任者:
- 李经民 (1979-) 编著
- 个人责任者:
- 刘冲 (1963-) 编著
- 个人责任者:
- 王立鼎 (1934-) 编著
- 学科主题:
- 微机电系统-研究生-教材
- 中图法分类号:
- TH-39
- 一般附注:
- 科学出版社“十四五”普通高等教育研究生规划教材
- 提要文摘附注:
- 本书共八章，内容包括：微机电系统概述、体硅微加工技术、表面微加工技术、硅基微加工工艺实例、微传感器、微执行器、微机电系统典型应用等。
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