- 题名/责任者:
- 新型微纳传感器技术/赵玉龙, 蒋庄德著
- 出版发行项:
- 北京:化学工业出版社,2022
- ISBN及定价:
- 978-7-122-42346-7 精装/CNY128.00
- 载体形态项:
- 244页:图;27cm
- 个人责任者:
- 赵玉龙 著
- 个人责任者:
- 蒋庄德 著
- 学科主题:
- 微电机-传感器-研究生-教材
- 中图法分类号:
- TP212
- 出版发行附注:
- 国家科学技术学术著作出版基金资助出版
- 提要文摘附注:
- 本书围绕微纳传感与测试技术的知识架构，阐述微纳传感器的基本原理、优势特点与应用，主要介绍单晶硅压阻原理、加速度传感器、压力传感器、谐振传感器、机床刀具测力和振动传感器、薄膜测力传感器、爆轰爆速传感器、MEMS电热执行器、气体传感器等典型微纳传感器的设计与制造方法。
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