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MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：12

题名/责任者:
纳米CMOS器件/甘学温等编著
出版发行项:
北京:科学出版社,2003
ISBN及定价:
7-03-011163-X/CNY45.00
载体形态项:
344页;24cm
个人责任者:
甘学温 (教授) 编著
学科主题:
半导体器件-纳米材料
学科主题:
半导体器件
学科主题:
纳米材料
中图法分类号:
TN303
一般附注:
中国科学院科学出版基金资助出版
提要文摘附注:
本书共六章。内容涉及CMOS器件等比例缩小的发展趋势，缩小到纳米尺寸的CMOS器件面临的挑战，实现纳米图形尺寸的光刻技术等。
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索书号 条码号 年卷期 馆藏地 书刊状态 还书位置
TN303/2 A00138609   密集书库 (图书定位请点击这里)    借出-应还日期： 密集书库
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