MARC状态：订购 文献类型：中文图书 浏览次数：5
- 题名/责任者:
- 集成电路制造大生产工艺技术/吴汉明主编
- 出版发行项:
- 杭州:浙江大学出版社,2023
- ISBN及定价:
- 978-7-308-23349-1 精装/CNY198.00
- 载体形态项:
- 668页:图，照片;26cm
- 个人责任者:
- 吴汉明 主编
- 学科主题:
- 集成电路工艺-教材
- 中图法分类号:
- TN405
- 提要文摘附注:
- 本书共六篇24章，分别对晶体管工作原理，基础工艺技术，大生产制造工艺流程中的相关技术、工艺集成和工艺模块(短流程)，芯片制造中的一些实例，以及制造与设计的互相支撑关系等作了介绍。
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