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题名/责任者:

精密纳米计量学:用于纳米制造的传感器和测量系统/(日) Wei Gao著 李雷 ... 等译

出版发行项:

北京:国防工业出版社,2022.04

ISBN及定价:

978-7-118-12466-8 精装/CNY98.00

载体形态项:

XI, 243页:图;24cm

并列正题名:

Precision nanometrology:sensors and measuring systems for nanomanufacturing

其它题名:

用于纳米制造的传感器和测量系统

丛编项:

军事计量科技译丛

个人责任者:

高伟 著

个人次要责任者:

李雷 译

学科主题:

纳米技术-应用-测量-研究

中图法分类号:

P2

一般附注:

装备科技译著出版基金

提要文摘附注:

本书全面系统地介绍了精密纳米计量学的相关知识, 重点讲述了精密纳米制造中测量角度和位移的光学传感器, 提出了改善传感器灵敏度和带宽, 减小传感器尺寸的技术, 并开发了新的多轴传感方法 ; 同时, 详细介绍了精密纳米计量中用于表面形状和平台运动的扫描型测量系统, 阐述了纳米制造中最基本的几何形状的测量误差分离算法和系统 ; 最后对微观非球面的测量, 纳米制造中微纳结构的精密纳米计量, 以及长结构的微观尺寸的快速、准确测量等进行了介绍。

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