MARC状态：订购 文献类型：中文图书 浏览次数：3
- 题名/责任者:
- 高性能MEMS惯性器件技术/刘福民[等]著
- 出版发行项:
- 北京:中国宇航出版社,2024
- ISBN及定价:
- 978-7-5159-2449-6 精装/CNY158.00
- 载体形态项:
- 406页:图，照片;26cm
- 个人责任者:
- 刘福民 著
- 学科主题:
- 微电子技术-惯性元件
- 中图法分类号:
- TN965
- 一般附注:
- 国家出版基金项目
- 题名责任附注:
- 著者还有：王巍、刘国文、徐宇新
- 提要文摘附注:
- 本书从MEMS惯性器件研究和设计的角度，论述了高性能MEMS惯性器件的工作原理、误差机理、设计与工艺技术等方面的理论、方法和关键技术。全书共6章，主要包括MEMS陀螺仪和MEMS加速度计的基本原理、MEMS陀螺仪典型结构及误差机理、高性能MEMS陀螺仪关键技术、MEMS加速度计典型结构及误差机理、高性能MEMS加速度计关键技术以及高性能MEMS惯性器件工艺技术等内容。
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