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题名/责任者:

晶圆制造中的并行机调度/张洁，张朋著

出版发行项:

北京:清华大学出版社,2019

ISBN及定价:

978-7-302-53663-5/CNY79.00

载体形态项:

10,241页:图;24cm

丛编项:

排序与调度丛书/唐国春主编;7

个人责任者:

张洁 (1963.9-) 著

个人责任者:

张朋 (机械工程) 著

学科主题:

半导体工艺-自动化系统-物料输送系统-并行控制-研究

中图法分类号:

TN305

一般附注:

“十三五”国家重点出版规划项目

提要文摘附注:

本书在介绍晶圆制造中的并行机调度问题和建模方法的基础上，分别介绍了光刻机调度方法、炉管区调度方法以及物料运输系统调度方法。同时介绍了晶圆制造中的并行机调度性能评价方法，以及原型系统的开发和应用。

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