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MARC状态:订购 文献类型:中文图书 浏览次数:6

题名/责任者:
微机电系统设计及应用探究/吴倩楠著
出版发行项:
长春:吉林科学技术出版社,2021
ISBN及定价:
978-7-5578-8047-7/CNY86.00
载体形态项:
177页:图;24cm
个人责任者:
吴倩楠, 1988- 著
学科主题:
微电机-系统设计-应用-研究
中图法分类号:
TM380.2
提要文摘附注:
本书共5章, 内容包括: 微机电系统概述、微机电系统的设计方法学、微细加工技术、微机电系统检测技术、微机电系统的应用。
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