MARC状态：订购 文献类型：中文图书 浏览次数：16
- 题名/责任者:
- 微电子工艺原理与技术/田丽[等]主编
- 出版发行项:
- 哈尔滨:哈尔滨工业大学出版社,2021.08
- ISBN及定价:
- 978-7-5603-9067-3/CNY78.00
- 载体形态项:
- 438页:图;26cm
- 中图法分类号:
- TN4
- 一般附注:
- “双一流”建设精品出版工程
- 提要文摘附注:
- 本书分五篇，硅衬底、氧化与掺杂、薄膜制备、光刻技术、工艺集成与封装测试。内容包括：单晶硅特征；硅片的制备；外延；热氧化；扩散；离子注入；化学气相淀积等。
- 使用对象附注:
- 高校师生
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