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题名/责任者:

MEMS法珀腔光学声传感器/郑永秋，陈佳敏，武丽云著

出版发行项:

北京:电子工业出版社,2023.11

ISBN及定价:

978-7-121-46695-3/CNY98.00

载体形态项:

211页:图，照片;23cm

丛编项:

工业信息化技术丛书

个人责任者:

郑永秋 著

个人责任者:

陈佳敏 (女) 著

个人责任者:

武丽云 (女) 著

学科主题:

光纤传感器

中图法分类号:

TP212.4

提要文摘附注:

本书论述了MEMS法珀腔光学声传感器的传感机理、法珀腔声敏感结构的优化设计及制备、调相谱检测的声信号解调技术等，还对MEMS法珀腔光学声传感器进行了测试与分析。

使用对象附注:

本书适用于从事MEMS光学声传感技术研究、设计、制造和应用的科技人员

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