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题名/责任者:

微电子工艺与装备技术/夏洋，解婧，陈宝钦编著

出版发行项:

北京:科学出版社,2023

ISBN及定价:

978-7-03-075192-8/CNY88.00

载体形态项:

10,227页:图，照片;26cm

个人责任者:

夏洋 (1963-) 编著

个人责任者:

解婧 编著

个人责任者:

陈宝钦 (1942.7-) 编著

学科主题:

微电子技术-生产工艺-研究生-教材

中图法分类号:

TN405

一般附注:

中国科学院大学研究生教材系列

提要文摘附注:

本书共十章，内容包括：基础知识、物理气相沉积工艺实验、化学气相沉积工艺实验、光刻工艺实验、微纳米刻技术及实验、刻蚀工艺实验、工艺集成及微机电系统、示例课程简介等。

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