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题名/责任者:

MEMS压力传感器理论与技术/蒋庄德等著

出版发行项:

北京:高等教育出版社,2023.08

ISBN及定价:

978-7-04-060468-9 精装/CNY99.00

载体形态项:

358页:图，照片;26cm

并列正题名:

Theories and technologies for MEMS pressure sensors

丛编项:

先进制造与智能制造前沿技术丛书

个人责任者:

蒋庄德 著

学科主题:

压力传感器

中图法分类号:

TP212

一般附注:

国家科学技术学术著作出版基金资助出版 “十四五”国家重点出版物出版规划项目 机械工程前沿著作系列

提要文摘附注:

本书从相关基础理论出发，论述了MEMS压力传感器的主流工艺、器件静动态测试、芯片电路等关键技术，并讨论了多种原创、特种、高端的MEMS压力传感器件。

使用对象附注:

本书适用于传感器或MEMS领域的研究人员

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