MARC状态：订购 文献类型：中文图书 浏览次数：3
- 题名/责任者:
- 集成电路工艺实验基础/石建军，郭颖主编
- 出版发行项:
- 上海:东华大学出版社,2023
- ISBN及定价:
- 978-7-5669-2213-7/CNY45.00
- 载体形态项:
- 164页:图;26cm
- 个人责任者:
- 石建军 主编
- 个人责任者:
- 郭颖 主编
- 学科主题:
- 集成电路工艺-实验-高等教育-教材
- 中图法分类号:
- TN405-33
- 一般附注:
- 高等教育“十四五”部委级规划教材
- 提要文摘附注:
- 本书分3章，共26个实验，第1章为基础工艺，包含真空技术、硅片的清洗及氧化、光刻工艺流程实验教学、氧等离子体刻蚀等；第2章为检测测量技术，包含MSFET器件特性的测量与分析、椭圆偏振仪测薄膜厚度、紫外可见分光光度计测量亚甲基蓝溶液浓度等；第3章为工艺基础及应用，包含表面波等离子体放电实验、脉冲放电等离子体特性实验、低气压容性耦合等离子体特性实验等。
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