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- 题名/责任者:
- 微细加工技术/张甲,王振龙,周丽杰编著
- 出版发行项:
- 哈尔滨:哈尔滨工业大学出版社,2024
- ISBN及定价:
- 978-7-5767-1009-0/CNY68.00
- 载体形态项:
- 313页:图;26cm
- 并列正题名:
- Microfabrication technology
- 丛编项:
- 先进制造理论研究与工程技术系列
- 个人责任者:
- 张甲 编著
- 个人责任者:
- 王振龙 编著
- 个人责任者:
- 周丽杰 编著
- 学科主题:
- 特种加工
- 中图法分类号:
- TG66
- 一般附注:
- “十四五”时期国家重点出版物出版专项规划项目
- 提要文摘附注:
- 本书共11章,内容包括:微细加工技术概述、微机械与微细加工理论基础、微细切削加工技术、微细电火花加工技术、高能场微细加工技术、生长型微细加工技术、硅微细加工技术、LIGA技术、纳米压印技术、自组装加工技术和扫描探针加工技术。
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