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MARC状态:订购 文献类型:中文图书 浏览次数:3

题名/责任者:
微细加工技术/张甲,王振龙,周丽杰编著
出版发行项:
哈尔滨:哈尔滨工业大学出版社,2024
ISBN及定价:
978-7-5767-1009-0/CNY68.00
载体形态项:
313页:图;26cm
并列正题名:
Microfabrication technology
丛编项:
先进制造理论研究与工程技术系列
个人责任者:
张甲 编著
个人责任者:
王振龙 编著
个人责任者:
周丽杰 编著
学科主题:
特种加工
中图法分类号:
TG66
一般附注:
“十四五”时期国家重点出版物出版专项规划项目
提要文摘附注:
本书共11章,内容包括:微细加工技术概述、微机械与微细加工理论基础、微细切削加工技术、微细电火花加工技术、高能场微细加工技术、生长型微细加工技术、硅微细加工技术、LIGA技术、纳米压印技术、自组装加工技术和扫描探针加工技术。
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