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MARC状态:已编 文献类型:中文图书 浏览次数:19

题名/责任者:
电子电路与机械制造/郭佳俊,杨凯著
出版发行项:
延吉:延边大学出版社,2019.05
ISBN及定价:
978-7-5688-6983-6/CNY43.00
载体形态项:
180页:图;26cm
个人责任者:
郭佳俊
个人责任者:
杨凯
学科主题:
集成电路工艺
中图法分类号:
TN405
提要文摘附注:
本学术专著以实际应用为出发点,对集成电路制造的主流工艺技术进行了逐一介绍,通过图文对照的形式对典型工艺进行介绍,然后把这些工艺技术应用于实际工艺流程中,通过实例让读者能快速的掌握具体工艺技术的实际应用。本书旨在向从事半导体行业的朋友介绍半导体工艺技术,给业内人士提供简单易懂并且与实际应用相结合研究使用。
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