MARC状态：订购 文献类型：中文图书 浏览次数：7
- 题名/责任者:
- 微机电系统设计及应用探究/吴倩楠著
- 出版发行项:
- 长春:吉林科学技术出版社,2021
- ISBN及定价:
- 978-7-5578-8047-7/CNY86.00
- 载体形态项:
- 177页:图;24cm
- 个人责任者:
- 吴倩楠, 1988- 著
- 学科主题:
- 微电机-系统设计-应用-研究
- 中图法分类号:
- TM380.2
- 提要文摘附注:
- 本书共5章, 内容包括: 微机电系统概述、微机电系统的设计方法学、微细加工技术、微机电系统检测技术、微机电系统的应用。
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