MARC状态：订购 文献类型：中文图书 浏览次数：4
- 题名/责任者:
- 微机电器件设计、仿真及工程应用/郭占社，周富强编著
- 出版发行项:
- 北京:北京航空航天大学出版社,2021.03
- ISBN及定价:
- 978-7-5124-3456-1/CNY49.00
- 载体形态项:
- 222页:图;24cm
- 中图法分类号:
- TN4
- 一般附注:
- 高等学校通用教材
- 提要文摘附注:
- 本书针对微机电系统基础理论、关键问题及常用硅微机械器件做了详细介绍。在此基础上，以微机电系统中常用的核心器件为对象，结合大量工程实例，采用Ansys软件，详细介绍了采用有限元仿真技术对其设计可行性进行验证的方法，包括结构的静力学仿真、模态仿真、静电仿真、热力学仿真以及疲劳仿真等。
- 使用对象附注:
- 从事MEMS设计人员
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