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题名/责任者:

集成电路工艺实验基础/石建军，郭颖主编

出版发行项:

上海:东华大学出版社,2023

ISBN及定价:

978-7-5669-2213-7/CNY45.00

载体形态项:

164页:图;26cm

个人责任者:

石建军 主编

个人责任者:

郭颖 主编

学科主题:

集成电路工艺-实验-高等教育-教材

中图法分类号:

TN405-33

中图法分类号:

TN405

一般附注:

高等教育“十四五”部委级规划教材

提要文摘附注:

本书共三章：基础工艺、检测测量技术、工艺基础及应用。实验内容包括：真空技术、硅片的清洗及氧化、光刻工艺流程实验教学、MOSFET器件特性的测量与分析、椭圆偏振仪测薄膜厚度、表面波等离子体放电实验、脉冲放电等离子体特性实验等。

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