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题名/责任者:

微加工技术工艺原理与实验/陈军[等]编著

出版发行项:

北京:清华大学出版社,2024

ISBN及定价:

978-7-302-66121-4/CNY69.00

载体形态项:

247页:图;26cm

个人责任者:

陈军 编著

学科主题:

特种加工-高等学校-教材

中图法分类号:

TG66

一般附注:

面向新工科的电工电子信息基础课程系列教材 教育部高等学校电工电子基础课程教学指导分委员会推荐教材

题名责任附注:

编著者还有：黄展云、张宇、卢星、王冰、陈晖

提要文摘附注:

本书共6篇，每篇2章，合计12章。第一篇介绍微加工技术的发展现状和基本流程，以及微加工工艺环境和实验室安全事项；第二篇介绍光刻工艺；第三篇介绍刻蚀工艺；第四篇介绍薄膜制备工艺；第五篇介绍掺杂工艺；第六篇介绍工艺集成与集成电路的制造方法。

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