广东职业技术学院图书馆书目检索系统

Online Public Access Catalogue

题名/责任者:

集成电路与光刻机/王向朝，戴凤钊等著

出版发行项:

北京:科学出版社,2020

ISBN及定价:

978-7-03-065792-3/CNY58.00

载体形态项:

133页:图，照片;21cm

并列正题名:

Integrated circuit and lithographic tool

个人责任者:

王向朝 (光学) 著

个人责任者:

戴凤钊 著

学科主题:

集成电路

学科主题:

光刻设备

中图法分类号:

TN4

中图法分类号:

TN305.7

一般附注:

国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”支持

提要文摘附注:

本书共8章，主要内容包括：集成电路发展历程、集成电路制造工艺、光刻机技术的发展、光刻机整机系统、光刻机曝光光源、光刻机关键分系统、计算光刻、光刻机成像质量的提升。

豆瓣简介：