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题名/责任者:

集成电路工艺实验/谭永胜，方泽波主编

出版发行项:

成都:电子科技大学出版社,2025

ISBN及定价:

978-7-5770-1376-3/CNY42.00

载体形态项:

99页:图;24cm

个人责任者:

谭永胜 (1980-) 主编

个人责任者:

方泽波 (1975-) 主编

学科主题:

集成电路工艺-实验

中图法分类号:

TN405-33

提要文摘附注:

本书按一个完整的半导体集成电路工艺过程工艺作用来讲述，将各种集成电路单项工艺分为清洗、薄膜沉积、掺杂和图形转移等几类。各部分内容是以提取重要的、有重复性和代表性的工序排成的实验项目。学生真正掌握了这些实验的方法，熟悉各大型设备的实际操作，即可在工艺线上单独流片，制造出合格的、结构较简单的集成电路芯片。

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