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题名/责任者:

微波与光波融合的新一代微电子装备制造技术/樊融融编著

出版发行项:

北京:电子工业出版社,2021.08

ISBN及定价:

978-7-121-41713-9/CNY99.00

载体形态项:

X, 300页:图;26cm

丛编项:

现代电子制造系列丛书

个人责任者:

樊融融 编著

学科主题:

微电子技术-电子装备-制造-研究

中图法分类号:

TN4

提要文摘附注:

本书以5G技术为导向, 其内容纳入了现代微波制造工艺技术基础知识, 导入了国际上创新发展的“光化”概念和光组装技术, 以构筑未来“5G+微波+光波”新一代微电子装备制造技术的内涵和实施工艺方案。

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