MARC状态：订购 文献类型：中文图书 浏览次数：4
- 题名/责任者:
- 集成电路制造设备零部件归类指南/温朝柱，史芳婷，蒋耘弈编著
- 出版发行项:
- 北京:中国海关出版社有限公司,2023
- ISBN及定价:
- 978-7-5175-0624-9/CNY78.00
- 载体形态项:
- 290页:图;26cm
- 个人责任者:
- 温朝柱 编著
- 个人责任者:
- 史芳婷 编著
- 个人责任者:
- 蒋耘弈 编著
- 学科主题:
- 集成电路工艺-零部件-分类-指南
- 中图法分类号:
- TN405-62
- 提要文摘附注:
- 本书共6章，内容包括：集成电路的制造工艺和制造设备零部件的归类概述；集成电路芯片制造设备；洁净室(厂房)及其配套系统；其他相关设备、部件及仪表；集成电路制造用材料；部分典型零部件的归类。
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