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题名/责任者:

飞秒激光共振吸收微纳制造机理与实验研究/赵新宇著

出版发行项:

长沙:湖南科学技术出版社,2022.1

ISBN及定价:

978-7-5710-1019-5/CNY98.00

载体形态项:

157页:图;24cm

个人责任者:

赵新宇 著

学科主题:

微电子技术-纳米技术-应用-飞秒激光-激光加工-研究

中图法分类号:

TG665

书目附注:

有书目 (第147-157页)

提要文摘附注:

飞秒激光微纳制造作为一种新兴的高精密加工技术已经成为当前微小尺寸高精度制造的研究热点, 应用于越来越多的工程领域。但是人们仍不十分清楚飞秒激光与材料相互作用机理, 这制约飞秒激光的应用。本研究主要针对一种基于入射激光光子能量与被加工靶材电子跃迁能级差相等或相近时能够有效提高飞秒激光精密加工效率的共振吸收效应制造方法, 进行了机理上的电子动力学仿真和烧蚀效率实验, 以阐明共振吸收制造的微观机理, 同时探究该方法在实际工程应用中的影响因素和加工规律。

使用对象附注:

对从事飞秒激光微纳制造研究具有指导意义

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