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题名/责任者:

一本书读懂芯片制程设备/王超[等]编著

出版发行项:

北京:机械工业出版社,2023

ISBN及定价:

978-7-111-72041-6/CNY99.00

载体形态项:

254页:图;24cm

丛编项:

集成电路科学与技术丛书

个人责任者:

王超 编著

学科主题:

芯片-工业生产设备

中图法分类号:

TN430.5

一般附注:

机工通信

题名责任附注:

编著者还有：姜晶、牛夷、王刚

提要文摘附注:

本书首先介绍了集成电路芯片制程及其设备，并分析了芯片制程设备的国内外市场环境；然后，针对具体工艺技术涉及的设备，综述了设备原理及市场情况；最后对我国集成电路芯片制程设备的发展做了总结展望。

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