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题名/责任者:

半导体制造过程的批间控制和性能监控/郑英，王妍，凌丹著

出版发行项:

北京:科学出版社,2023.11

ISBN及定价:

978-7-03-070817-5/CNY128.00

载体形态项:

243页;24cm

个人责任者:

郑英 著

个人责任者:

王妍 著

个人责任者:

凌丹 著

学科主题:

半导体工艺

中图法分类号:

TN305

提要文摘附注:

本书共十一章，基于当前半导体行业制造过程中存在的问题，介绍了多种改进的批间控制和过程监控算法及其性能。

使用对象附注:

本书适用于自动控制或信息科学相关专业研究人员

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