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题名/责任者:

微光机电系统(MOEMS)/张文栋, 熊继军编著

出版发行项:

北京:机械工业出版社,2006

ISBN及定价:

7-111-19266-4/CNY28.00

载体形态项:

10,310页:图;24cm

丛编项:

光机电一体化技术丛书

个人责任者:

张文栋 编著

个人责任者:

熊继军 编著

学科主题:

微光技术-应用-机电系统

中图法分类号:

TH-39

提要文摘附注:

本书介绍了微光机电系统的国内外发展状况，微器件的结构设计与仿真，常用的微制造技术；重点介绍了各种MOEMS器件，包括微力学器件、RF微器件、微光学器件、微流体器件以及微温度传感器和微磁场传感器等。

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