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Online Public Access Catalogue

题名/责任者:

微细加工技术/刘志东编著

出版发行项:

北京:北京大学出版社,2024

ISBN及定价:

978-7-301-34636-5/CNY69.00

载体形态项:

252页:图;26cm

个人责任者:

刘志东 (1966-) 编著

学科主题:

特种加工-高等教育-教材

中图法分类号:

TG66

一般附注:

北大社·“十四五”普通高等教育本科规划教材 高等院校机械类专业“互联网+”创新规划教材

提要文摘附注:

本书介绍了机械加工中广义的微细加工技术，以及狭义的微细加工技术在集成电路及硅太阳能电池制造领域的应用，并以碳化硅为例，介绍了第三代半导体，从而使大家理解和掌握微细加工技术的基础知识和常用微细加工的方法、基本原理及应用。

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