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题名/责任者:

新型微机电系统与器件/主编马宗敏

出版发行项:

西安:西安电子科技大学出版社,2022

ISBN及定价:

978-7-5606-6530-6/CNY49.00

载体形态项:

312页:图;26cm

并列正题名:

New micro-electro-mechanical systems and devices

丛编项:

高等学校微电子类专业系列教材

个人责任者:

马宗敏 主编

学科主题:

微机电系统

中图法分类号:

TH-39

相关题名附注:

英文并列题名取自封面

责任者附注:

马宗敏, 中北大学教授, 博士生导师, 中国仪器仪表学会量子传感与精密测量分会常务理事, 主要从事量子传感与精密测量方面的科研和教学工作。

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

本书力图从几类最新的传感器入手介绍新型微机电器件及系统, 全书共分七章, 主要内容包括: 近年来微机电系统的发展, MEMS惯性器件及系统的原理、工艺、最新发展, 回音壁模式微腔器件及系统, 典型水声传感器件及系统, 典型高温压力传感器件及系统, 最新的量子传感器件及系统, 柔性传感器件及系统。

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