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题名/责任者:

集成电路制造工艺技术体系/严利人，周卫著

出版发行项:

北京:科学出版社,2017

ISBN及定价:

978-7-03-050157-8 精装/CNY98.00

载体形态项:

10,239页:图;25cm

丛编项:

半导体科学与技术丛书;33

个人责任者:

严利人 (微电子学) 著

个人责任者:

周卫 (微电子) 著

学科主题:

集成电路工艺

中图法分类号:

TN405

责任者附注:

严利人，生于1968年2月，祖籍江苏。周卫，男，生于1958年9月，祖籍广西桂林。

书目附注:

附书目：232-234页

提要文摘附注:

本书从三个方面系统地论述集成电路的制造技术。首先是制造对象，对工艺结构及结构所对应的电子器件特性进行深入的分析与揭示；其次是生产制造本身，详细讨论集成电路各单步作用的本质特征及各不同工艺技术在成套流程中的作用，讨论高端制造的组织、调度和管理，工艺流程的监控，工艺效果分析与诊断等内容；最后是支撑半导体制造的设备设施，该部分的论述比较简明，但是也从整体和系统的角度突出了制造设备的若干要素。

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