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检索到 2 条 分类号=TN405.98 的结果    

 


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  1. 中文图书1.等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用.2版

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    张海洋等编著
    清华大学出版社 2023
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  2. 中文图书2.先进计算光刻

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    李艳秋[等]著
    科学出版社 2024
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