检索到 6 条 主题词=光刻设备 的结果
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中文图书1.现代集成电路工厂中的先进光刻工艺研发方法与流程
馆藏复本：0
可借复本：0 李艳丽，伍强编著
清华大学出版社 2024
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中文图书2.芯片制造:光刻巨头ASML传奇之路
馆藏复本：0
可借复本：0 (荷)马克·海金克(Marc Hijink)著
长江文艺出版社 2025.03
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中文图书3.激光热敏光刻:原理与方法:principle and method TN305.7/2
馆藏复本：3
可借复本：3 魏劲松著
清华大学出版社 2022
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中文图书4.光刻巨人:ASML崛起之路 F456.366/1
馆藏复本：4
可借复本：2 (荷兰)瑞尼·雷吉梅克著
人民邮电出版社 2020
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中文图书5.集成电路与光刻机 TN4/36
馆藏复本：4
可借复本：2 王向朝，戴凤钊等著
科学出版社 2020
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中文图书6.衍射极限附近的光刻工艺 TN305.7/1
馆藏复本：3
可借复本：2 伍强等编著
清华大学出版社 2020
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