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中文图书1.微纳制造与微机电系统
馆藏复本:0
可借复本:0 李经民,刘冲,王立鼎编著
科学出版社 2024
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中文图书2.MEMS三维芯片集成技术
馆藏复本:0
可借复本:0 (日)江刺正喜主编
化学工业出版社 2023
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中文图书3.微机电系统工程基础 TH-39/136
馆藏复本:3
可借复本:3 蒋永刚主编
北京航空航天大学出版社 2023
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中文图书4.新型微机电系统与器件 TH-39/125
馆藏复本:3
可借复本:3 主编马宗敏
西安电子科技大学出版社 2022
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中文图书5.微纳机电系统与微纳传感器技术 TH-39/100
馆藏复本:4
可借复本:2 国家自然科学基金委员会, 中国科学院
科学出版社 2020
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中文图书6.微机电系统基础 TM38/2
馆藏复本:4
可借复本:3 (美)刘昶著
机械工业出版社 2007
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