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中文图书1.微机电系统工程基础 TH-39/136
馆藏复本:3
可借复本:2 蒋永刚主编
北京航空航天大学出版社 2023
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中文图书2.新型微机电系统与器件 TH-39/125
馆藏复本:3
可借复本:3 主编马宗敏
西安电子科技大学出版社 2022
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中文图书3.微机电系统 (MEMS):元器件、电路及系统集成技术和应用
馆藏复本:0
可借复本:0 (美) 维卡斯·乔杜里, (加) 克日什托夫·印纽斯基主编
机械工业出版社 2020.5
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中文图书4.机电与微机电系统设计
馆藏复本:0
可借复本:0 聂伟荣, 曹云, 陈荷娟主编
南京大学出版社 2021.12
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中文图书5.高温SiC MEMS传感器的热电特性
馆藏复本:0
可借复本:0 (澳) 丁东安, 阮南中, 陶宗越著
科学出版社 2022.6
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中文图书6.微纳机电系统与微纳传感器技术 TH-39/100
馆藏复本:4
可借复本:2 国家自然科学基金委员会, 中国科学院
科学出版社 2020
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中文图书7.微机电系统基础 TM38/2
馆藏复本:4
可借复本:3 (美)刘昶著
机械工业出版社 2007
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