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• 010 __ |a 978-7-03-072489-2 |d CNY88.00

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• 101 1_ |a chi |c eng

• 102 __ |a CN |b 110000

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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 高温SiC MEMS传感器的热电特性 |A gao wen SiCMEMS chuan gan qi de re dian te xing |f (澳) 丁东安, 阮南中, 陶宗越著 |d = Thermoelectrical effect in SIC for high-temperature MEMS sensors |f Toan Dinh, Nam-Trung Nguyen, Dzung Viet Dao |g 王兴华 ... [等] 译 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2022.6

• 215 __ |a x, 133页 |c 图 (部分彩图) |d 24cm

• 304 __ |a 题名页题: 王兴华, 刘文宝, 刘红卫, 李兴冀译

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书主要介绍了碳化硅 (SiC) 传感器在高温下热电特性的研究进展。本书可分为三部分, 共七章。第一部分从单层SiC和多层SiC的热阻效应、热电效应、热电子效应和热电容效应等物理效应方面来介绍SiC的热电特性; 第二部分介绍了SiC的诸多重要特征以及SiC MEMS的制造流程, 总结了SiC传感器、热流传感器和对流惯性传感器的最新进展; 第三部分论述了SiC热电传感器的应用前景。

• 333 __ |a 本书可作为高等院校微电子技术专业本科生及相关专业研究生的参考书, 也可作为相关领域工程技术人员的参考资料

• 500 10 |a Thermoelectrical effect in SIC for high-temperature MEMS sensors |m Chinese

• 606 0_ |a 碳化硅热敏电阻器 |A tan hua gui re min dian zu qi |x 研究

• 606 0_ |a 微机电系统 |A wei ji dian xi tong |x 传感器 |x 热电效应 |x 研究

• 690 __ |a TM54 |v 5

• 690 __ |a TH-39 |v 5

• 701 _0 |a 丁东安 |A ding dong an |g (Dinh, Toan) |4 著

• 701 _0 |a 阮南中 |A ruan nan zhong |g (Nguyen, Nam-Trung) |4 著

• 701 _0 |a 陶宗越 |A tao zong yue |g (Dao, Dzung Viet) |4 著

• 702 _0 |a 王兴华 |A wang xing hua |4 译

• 702 _0 |a 刘文宝 |A liu wen bao |4 译

• 801 _0 |a CN |b 湖北三新 |c 20220704