机读格式显示(MARC)

• 000 01081nam2 2200301 450

• 000 0000167990

• 001 0000083439

• 010 __ |a 7-111-19266-4 |d CNY28.00

• 100 __ |a 20080626d em y0chiy0110 ea

• 101 0_ |a chi

• 102 __ |a CN |b 110000

• 105 __ |a a z 000yy

• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 微光机电系统(MOEMS) |9 wei guang ji dian xi tong(MOEMS) |f 张文栋, 熊继军编著

• 210 __ |a 北京 |c 机械工业出版社 |d 2006

• 215 __ |a 10,310页 |c 图 |d 24cm

• 225 2_ |a 光机电一体化技术丛书

• 330 __ |a 本书介绍了微光机电系统的国内外发展状况，微器件的结构设计与仿真，常用的微制造技术；重点介绍了各种MOEMS器件，包括微力学器件、RF微器件、微光学器件、微流体器件以及微温度传感器和微磁场传感器等。

• 461 _0 |1 2001 |a 光机电一体化技术丛书

• 606 0_ |a 微光技术 |x 应用 |x 机电系统

• 690 __ |a TH-39 |v 4

• 701 _0 |a 张文栋 |9 zhang wen dong |4 编著

• 701 _0 |a 熊继军 |9 xiong ji jun |4 编著

• 801 _0 |a CN |b SFT |c 20080626

• 905 __ |a GDPTC |d TH-39/35

• 908 __ |a 0000167990

• 995 __ |a SFT |f TH-39/35

• 999 __ |t C |A cqh |a 20080626 11:51:08 |M cqh |m 20080626 11:51:12 |G cqh |g 20080626 11:51:26