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• 200 1_ |a 微加工技术工艺原理与实验 |9 wei jia gong ji shu gong yi yuan li yu shi yan |b 专著 |f 陈军[等]编著

• 210 __ |a 北京 |c 清华大学出版社 |d 2024

• 215 __ |a 247页 |c 图 |d 26cm

• 300 __ |a 面向新工科的电工电子信息基础课程系列教材 教育部高等学校电工电子基础课程教学指导分委员会推荐教材

• 304 __ |a 编著者还有：黄展云、张宇、卢星、王冰、陈晖

• 330 __ |a 本书共6篇，每篇2章，合计12章。第一篇介绍微加工技术的发展现状和基本流程，以及微加工工艺环境和实验室安全事项；第二篇介绍光刻工艺；第三篇介绍刻蚀工艺；第四篇介绍薄膜制备工艺；第五篇介绍掺杂工艺；第六篇介绍工艺集成与集成电路的制造方法。

• 606 0_ |a 特种加工 |9 Te Zhong Jia Gong |x 高等学校 |j 教材

• 690 __ |a TG66 |v 5

• 701 _0 |a 陈军 |9 chen jun |4 编著

• 801 _2 |a CN |b OLCC |c 20240717

• 905 __ |a GDPTC |d TG66/12