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• 200 1_ |a 集成电路制造设备零部件归类指南 |9 ji cheng dian lu zhi zao she bei ling bu jian gui lei zhi nan |b 专著 |f 温朝柱，史芳婷，蒋耘弈编著

• 210 __ |a 北京 |c 中国海关出版社有限公司 |d 2023

• 215 __ |a 290页 |c 图 |d 26cm

• 330 __ |a 本书共6章，内容包括：集成电路的制造工艺和制造设备零部件的归类概述；集成电路芯片制造设备；洁净室(厂房)及其配套系统；其他相关设备、部件及仪表；集成电路制造用材料；部分典型零部件的归类。

• 606 0_ |a 集成电路工艺 |x 零部件 |x 分类 |j 指南

• 690 __ |a TN405-62 |v 5

• 701 _0 |a 温朝柱 |9 wen chao zhu |4 编著

• 701 _0 |a 史芳婷 |9 shi fang ting |4 编著

• 701 _0 |a 蒋耘弈 |9 jiang yun yi |4 编著