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• 010 __ |a 978-7-121-46695-3 |d CNY98.00

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• 200 1_ |a MEMS法珀腔光学声传感器 |A MEMS fa po qiang guang xue sheng chuan gan qi |b 专著 |f 郑永秋，陈佳敏，武丽云著

• 210 __ |a 北京 |c 电子工业出版社 |d 2023.11

• 215 __ |a 211页 |c 图，照片 |d 23cm

• 225 1_ |a 工业信息化技术丛书 |A Gong Ye Xin Xi Hua Ji Shu Cong Shu

• 330 __ |a 本书论述了MEMS法珀腔光学声传感器的传感机理、法珀腔声敏感结构的优化设计及制备、调相谱检测的声信号解调技术等，还对MEMS法珀腔光学声传感器进行了测试与分析。

• 333 __ |a 本书适用于从事MEMS光学声传感技术研究、设计、制造和应用的科技人员

• 606 0_ |a 光纤传感器 |A Guang Xian Chuan Gan Qi

• 690 __ |a TP212.4 |v 5

• 701 _0 |a 郑永秋 |A zheng yong qiu |4 著

• 701 _0 |a 陈佳敏 |A chen jia min |c (女) |4 著

• 701 _0 |a 武丽云 |A wu li yun |c (女) |4 著

• 801 _0 |a CN |b GDPTC |c 20241221

• 905 __ |a GDPTC |d TP212.4/12