机读格式显示(MARC)

• 000 00984nam0 2200265 450

• 001 0000367704

• 005 20241127143600.0

• 010 __ |a 978-7-03-075192-8 |d CNY88.00

• 100 __ |a 20230512d2023 em y0chiy50 ea

• 101 0_ |a chi

• 102 __ |a CN |b 110000

• 105 __ |a a z 000yy

• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 微电子工艺与装备技术 |A wei dian zi gong yi yu zhuang bei ji shu |b 专著 |f 夏洋，解婧，陈宝钦编著

• 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2023

• 215 __ |a 10,227页 |c 图，照片 |d 26cm

• 300 __ |a 中国科学院大学研究生教材系列

• 330 __ |a 本书共十章，内容包括：基础知识、物理气相沉积工艺实验、化学气相沉积工艺实验、光刻工艺实验、微纳米刻技术及实验、刻蚀工艺实验、工艺集成及微机电系统、示例课程简介等。

• 606 0_ |a 微电子技术 |A Wei Dian Zi Ji Shu |x 生产工艺 |x 研究生 |j 教材

• 690 __ |a TN405 |v 5

• 701 _0 |a 夏洋 |A xia yang |f (1963-) |4 编著

• 701 _0 |a 解婧 |A xie jing |4 编著

• 701 _0 |a 陈宝钦 |A chen bao qin |f (1942.7-) |4 编著

• 801 _0 |a CN |b GDPTC |c 20241124

• 905 __ |a GDPTC |d TN405/12