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• 200 1_ |a 微机电系统设计及应用探究 |A wei ji dian xi tong she ji ji ying yong tan jiu |f 吴倩楠著

• 210 __ |a 长春 |c 吉林科学技术出版社 |d 2021

• 215 __ |a 177页 |c 图 |d 24cm

• 330 __ |a 本书共5章, 内容包括: 微机电系统概述、微机电系统的设计方法学、微细加工技术、微机电系统检测技术、微机电系统的应用。

• 606 0_ |a 微电机 |A wei dian ji |x 系统设计 |x 应用 |x 研究

• 690 __ |a TM380.2 |v 5

• 701 _0 |a 吴倩楠, |A wu qian nan |f 1988- |4 著

• 801 _0 |a CN |b GDXHCF |c 20220701