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- 100 __ |a 20071127d em y0chiy0110 ea
- 200 1_ |a 集成电路工艺中的化学品 |A Ji Cheng Dian Lu Gong Yi Zhong De Hua Xue Pin |f 戴猷元,张瑾编 |F Dai You Yuan, Zhang Jin Bian
- 210 __ |a 北京 |c 化学工业出版社 |d 2007
- 330 __ |a 本书系统提供了集成电路制造过程中用到的化学品的使用性能、毒性及安全等方面的信息。内容包括序言、薄膜制备技术及化学品、晶片清洗技术及化学品、光刻技术及化学品、刻蚀技术及化学品、化学机械抛光技术及化学品、载气及其他化学品。
- 701 _0 |a 戴猷元 |A Dai You Yuan |4 编
- 701 _0 |a 张瑾 |A Zhang Jin |4 编
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