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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 纳米CMOS器件 |9 na mi CMOS qi jian |f 甘学温等编著

• 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2003

• 215 __ |a 344页 |d 24cm

• 300 __ |a 中国科学院科学出版基金资助出版

• 330 __ |a 本书共六章。内容涉及CMOS器件等比例缩小的发展趋势，缩小到纳米尺寸的CMOS器件面临的挑战，实现纳米图形尺寸的光刻技术等。

• 606 0_ |a 半导体器件 |x 纳米材料

• 606 0_ |a 半导体器件

• 606 0_ |a 纳米材料

• 690 __ |a TN303 |v 4

• 701 _0 |a 甘学温 |9 gan xue wen |c (教授) |4 编著

• 801 _0 |a CN |b NLC |c 20040205

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