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• 200 1_ |a 微机电系统工程基础 |A wei ji dian xi tong gong cheng ji chu |f 蒋永刚主编

• 210 __ |a 北京 |c 北京航空航天大学出版社 |d 2023

• 215 __ |a 149页 |c 图 |d 26cm

• 300 __ |a 高等学校通用教材

• 330 __ |a 本书力图融汇各个领域的微纳制造技术于一体，使读者通过阅读全书可以获得对微机电系统工程的全面认识。同时，讲解MEMS设计的基础力学和传感原理的知识，并以典型的传感器和驱动器为案例进行设计方面的介绍。

• 606 0_ |a 微机电系统 |x 高等学校 |j 教材

• 690 __ |a TH-39 |v 5

• 701 _0 |a 蒋永刚 |A jiang yong gang |4 主编

• 801 _0 |a CN |b GDPTC |c 20231204

• 905 __ |a GDPTC |d TH-39/136