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• 000 00918nam0 2200265 450

• 001 0000353752

• 005 20241220151500.0

• 010 __ |a 978-7-03-070817-5 |d CNY128.00

• 100 __ |a 20231208d2023 em y0chiy50 ea

• 101 0_ |a chi

• 102 __ |a CN |b 110000

• 105 __ |a y z 000yy

• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 半导体制造过程的批间控制和性能监控 |A ban dao ti zhi zao guo cheng de pi jian kong zhi he xing neng jian kong |b 专著 |f 郑英，王妍，凌丹著

• 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2023.11

• 215 __ |a 243页 |d 24cm

• 330 __ |a 本书共十一章，基于当前半导体行业制造过程中存在的问题，介绍了多种改进的批间控制和过程监控算法及其性能。

• 333 __ |a 本书适用于自动控制或信息科学相关专业研究人员

• 606 0_ |a 半导体工艺 |A Ban Dao Ti Gong Yi

• 690 __ |a TN305 |v 5

• 701 _0 |a 郑英 |A zheng ying |4 著

• 701 _0 |a 王妍 |A wang yan |4 著

• 701 _0 |a 凌丹 |A ling dan |4 著

• 801 _0 |a CN |b GDPTC |c 20241220

• 905 __ |a GDPTC |d TN305/11