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• 200 1_ |a 微纳制造与微机电系统 |9 wei na zhi zao yu wei ji dian xi tong |b 专著 |f 李经民，刘冲，王立鼎编著

• 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2024

• 215 __ |a 281页 |c 图 |d 26cm

• 300 __ |a 科学出版社“十四五”普通高等教育研究生规划教材

• 330 __ |a 本书共八章，内容包括：微机电系统概述、体硅微加工技术、表面微加工技术、硅基微加工工艺实例、微传感器、微执行器、微机电系统典型应用等。

• 606 0_ |a 微机电系统 |x 研究生 |j 教材

• 690 __ |a TH-39 |v 5

• 701 _0 |a 李经民 |9 li jing min |f (1979-) |4 编著

• 701 _0 |a 刘冲 |9 liu chong |f (1963-) |4 编著

• 701 _0 |a 王立鼎 |9 wang li ding |f (1934-) |4 编著