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• 010 __ |a 978-7-03-065240-9 |d CNY98.00

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• 102 __ |a CN |b 110000

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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 微纳机电系统与微纳传感器技术 |9 wei na ji dian xi tong yu wei na chuan gan qi ji shu |b 专著 |f 国家自然科学基金委员会, 中国科学院

• 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2020

• 215 __ |a xxxvi, 237页, [8] 页图版 |c 图 |d 24cm

• 225 2_ |a 国家科学思想库 |A guo jia ke xue si xiang ku |i 学术引领系列

• 300 __ |a 中国学科发展战略

• 320 __ |a 有书目和索引

• 330 __ |a 本书对微纳机电系统与微纳传感器领域的主要技术进行了分类阐述, 全面总结了技术的发展现状, 客观分析了技术的发展态势, 从学科的发展规律和研究特点出发, 前瞻性地思考了技术的发展思路与发展方向, 提出了我国发展该学科的资助机制与政策建议。

• 410 _0 |1 2001 |a 国家科学思想库 |i 学术引领系列

• 606 0_ |a 微机电系统 |9 wei ji dian xi tong |x 研究

• 606 0_ |a 微电机 |9 wei dian ji |x 传感器 |x 研究

• 690 __ |a TH-39 |v 5

• 690 __ |a TP212 |v 5

• 711 02 |a 国家自然科学基金委员会 |9 guo jia zi ran ke xue ji jin wei yuan hui |4 编

• 711 02 |a 中国科学院 |9 zhong guo ke xue yuan |4 编

• 801 _0 |a CN |b GDPTC |c 20201113

• 905 __ |a GDPTC |d TH-39/100