机读格式显示(MARC)

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• 049 __ |a A330300WZL |b UCS01011780540 |c 2006105368

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• 102 __ |a CN |b 110000

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• 200 1_ |a 一本书读懂芯片制程设备 |9 yi ben shu du dong xin pian zhi cheng she bei |b 专著 |f 王超[等]编著

• 210 __ |a 北京 |c 机械工业出版社 |d 2023

• 215 __ |a 254页 |c 图 |d 24cm

• 225 1_ |a 集成电路科学与技术丛书 |9 Ji Cheng Dian Lu Ke Xue Yu Ji Shu Cong Shu

• 300 __ |a 机工通信

• 304 __ |a 编著者还有：姜晶、牛夷、王刚

• 330 __ |a 本书首先介绍了集成电路芯片制程及其设备，并分析了芯片制程设备的国内外市场环境；然后，针对具体工艺技术涉及的设备，综述了设备原理及市场情况；最后对我国集成电路芯片制程设备的发展做了总结展望。

• 606 0_ |a 芯片 |9 Xin Pian |x 工业生产设备

• 690 __ |a TN430.5 |v 5

• 701 _0 |a 王超 |9 wang chao |4 编著

• 801 _2 |a CN |b OLCC |c 20230519

• 801 _2 |a CN |b A330300WZL |c 20230407

• 801 _0 |a CN |b WT |c 20230407

• 905 __ |a GDPTC |d TN430.5/3