机读格式显示(MARC)

• 000 00980nam0 2200229 450

• 001 0000386480

• 005 20240118171848.0

• 010 __ |a 978-7-308-23349-1 |b 精装 |d CNY198.00

• 100 __ |a 20240109d2023 em y0chiy0110 ea

• 101 0_ |a chi

• 102 __ |a CN |b 330000

• 105 __ |a a z 000yy

• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 集成电路制造大生产工艺技术 |A ji cheng dian lu zhi zao da sheng chan gong yi ji shu |b 专著 |d Integrated circuit manufacturing process technologies of mass production |f 吴汉明主编 |z eng

• 210 __ |a 杭州 |c 浙江大学出版社 |d 2023

• 215 __ |a 668页 |c 图，照片 |d 26cm

• 330 __ |a 本书共六篇24章，分别对晶体管工作原理，基础工艺技术，大生产制造工艺流程中的相关技术、工艺集成和工艺模块(短流程)，芯片制造中的一些实例，以及制造与设计的互相支撑关系等作了介绍。

• 510 1_ |a Integrated circuit manufacturing process technologies of mass production |z eng

• 606 0_ |a 集成电路工艺 |j 教材

• 690 __ |a TN405 |v 5

• 701 _0 |a 吴汉明 |A wu han ming |4 主编

• 801 _2 |a CN |b 58marc.cn |c 20240119